派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥工作原理

PARKER派克膜片減壓閥產(chǎn)品描述：

UHP 超高純束縛膜片減壓閥 (壓力高達(dá) 250 psig) – SMSQ2Micro系列 | #45800745-1

SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場(chǎng)上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

PARKER超高純束縛膜片減壓閥工作原理：

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計(jì)特點(diǎn)相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250. SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.

PARKER派克膜片減壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

和1-1/2

閥體尺寸

極低粒子數(shù)

束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig

內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理

工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

PARKER派克膜片減壓閥應(yīng)用:

腐蝕性和特殊氣體

半導(dǎo)體工具

工具掛鉤

氣體柜

閥組箱 (VMB)